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臺積電深度披露2nm、3nm技術(shù)演進(jìn)

08
May 2023
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在4月26日的2023年北美技術(shù)研討會上,臺積電披露了有關(guān)其即將在 2025 年至 2026 年及以后推出的 N2 2nm 生產(chǎn)節(jié)點(diǎn)計(jì)劃的更多詳細(xì)信息。臺積電的N2系列制造技術(shù)將擴(kuò)展其他變化,包括具有背面供電功能的N2P和用于高性能計(jì)算的N2X。在這些即將推出的N2代工藝節(jié)點(diǎn)之間,臺積電正在制定路線圖,以繼續(xù)其提高晶體管性能效率,優(yōu)化功耗和提高晶體管密度的不懈步伐。

N2 變得更密集

臺積電去年推出的初始N2制造工藝將成為代工廠第一個(gè)使用全能柵極(GAAFET)晶體管的節(jié)點(diǎn),臺積電稱之為納米片晶體管。GAAFET與當(dāng)前的FinFET晶體管相比的優(yōu)勢包括更低的漏電流(因?yàn)橥ǖ赖乃兴膫€(gè)側(cè)面都存在柵極),以及能夠調(diào)整通道寬度以獲得更高的性能或更低的功耗。


臺積電在去年推出這項(xiàng)技術(shù)時(shí)表示,在相同的功率和復(fù)雜性下,它將使晶體管性能提高10%至15%,或者在相同的時(shí)鐘和晶體管數(shù)量下將功耗降低25%至30%。該公司還表示,N2將提供比N3E高15%以上的“混合”芯片密度,這比去年宣布的10%的密度增加有所增多。

該公司表示,N2技術(shù)開發(fā)正在按計(jì)劃進(jìn)行,該節(jié)點(diǎn)將在2025年(可能是2025年下半年)進(jìn)入大批量生產(chǎn)。該公司還表示,在進(jìn)入HVM的兩年前,其Nanosheet GAA晶體管性能達(dá)到了其目標(biāo)規(guī)格的80%以上,256Mb SRAM測試IC的平均良率超過50%。

“臺積電納米片技術(shù)展示了出色的電源效率和更低的Vmin,最適合節(jié)能計(jì)算范式,”臺積電的一份聲明中寫道。


N2P 在 2026 年獲得背面供電

臺積電的N2系列將在2026年的某個(gè)時(shí)候發(fā)展,屆時(shí)該公司計(jì)劃推出其N2P制造技術(shù)。N2P將為N2的Nanosheet GAA晶體管添加背面電源軌。

背面供電旨在通過將電源軌移動(dòng)到背面來解耦 I/O 和電源線,從而解決諸如后端 (BEOL) 中電阻升高等挑戰(zhàn)。反過來,這將提高晶體管性能并降低其功耗。此外,背面供電消除了數(shù)據(jù)和電源連接之間的一些潛在干擾。

背面供電是一種創(chuàng)新,其重要性怎么強(qiáng)調(diào)都不為過。多年來,芯片制造商一直在與芯片供電電路中的阻力作斗爭,而后端供電網(wǎng)絡(luò)(PDN)是解決這些問題的另一種方法。此外,去耦PDN和數(shù)據(jù)連接也有助于縮小面積,因此與N2相比,N2P有望進(jìn)一步提高晶體管密度。


目前,臺積電尚未透露有關(guān)N2P的性能,功耗和面積(PPA)優(yōu)于N2的任何數(shù)字。但根據(jù)我們從行業(yè)消息來源聽到的消息,僅背面電源軌就可以帶來個(gè)位數(shù)的功率改進(jìn)和兩位數(shù)的晶體管密度改進(jìn)。

臺積電表示,N2P有望在2026年投入生產(chǎn),因此我們可以推測,第一批基于N2P的芯片將在2027年上市。這個(gè)時(shí)間表將使臺積電在后端電源方面落后競爭對手英特爾大約兩年,假設(shè)他們能夠在 2024 年按時(shí)交付自己的 20A 工藝。

N2X:更高的性能

除了可能成為臺積電 2nm 代工藝的主力軍的 N2P 之外,臺積電還在準(zhǔn)備 N2X。這將是為高性能計(jì)算(HPC)應(yīng)用量身定制的制造工藝,如高端CPU,這些應(yīng)用需要增加電壓和時(shí)鐘。該代工廠沒有概述該節(jié)點(diǎn)與N2、N2P和N3X相比的具體優(yōu)勢,但與所有性能增強(qiáng)型節(jié)點(diǎn)一樣,實(shí)際優(yōu)勢預(yù)計(jì)將在很大程度上取決于設(shè)計(jì)技術(shù)協(xié)同優(yōu)化(DTCO)的實(shí)踐程度。

除了發(fā)布一些2nm工藝節(jié)點(diǎn)計(jì)劃的新公告外,臺積電還在北美技術(shù)研討會上發(fā)布了其2023年N3系列工藝技術(shù)的進(jìn)展和路線圖更新。作為臺積電的最后一代基于FinFET的工藝節(jié)點(diǎn),N3系列預(yù)計(jì)將在未來許多年內(nèi)以某種形式保持存在,成為不需要更尖端的基于GAAFET工藝的客戶可用的最密集節(jié)點(diǎn)。

臺積電在N3方面的重大路線圖更新是N3P及其高性能變體N3X。正如臺積電今天透露的那樣,N3P將是N3E的光學(xué)縮小版,與N3E相比,提供增強(qiáng)的性能,更低的功耗和更高的晶體管密度,同時(shí)保持與N3E設(shè)計(jì)規(guī)則的兼容性。同時(shí),N3X將把極致性能與3nm級密度相結(jié)合,為高性能CPU和其他處理器提供更高的時(shí)鐘速度。

N3E:適合所有人的 3nm 按計(jì)劃進(jìn)行

臺積電的N3(3nm級)工藝技術(shù)系列由多種變體組成,包括基準(zhǔn)N3(又名N3B),降低成本的寬松N3E,增強(qiáng)性能和芯片密度的N3P,以及具有更高電壓容差的N3X。去年,該公司還談到了晶體管密度最大化的N3S,但今年該公司仍然對這個(gè)節(jié)點(diǎn)守口如瓶,在其幻燈片中沒有提到它。

臺積電的原版N3節(jié)點(diǎn)具有多達(dá)25個(gè)EUV層,臺積電在其中的一些上使用EUV雙圖案,以實(shí)現(xiàn)比N5更高的邏輯和SRAM晶體管密度。EUV步驟通常很昂貴,而EUV雙重圖案化進(jìn)一步推高了這些成本,這就是為什么這種制造工藝只被少數(shù)不關(guān)心所需高額費(fèi)用的客戶使用的原因。


臺積電的大多數(shù)客戶對3nm級工藝感興趣,預(yù)計(jì)將使用寬松的N3E節(jié)點(diǎn),據(jù)臺積電稱,該節(jié)點(diǎn)正在按計(jì)劃實(shí)現(xiàn)其性能目標(biāo)。N3E 使用多達(dá) 19 個(gè) EUV 層,完全不依賴 EUV 雙重圖案,降低了其復(fù)雜性和成本。代價(jià)是N3E提供的邏輯密度低于N3,并且SRAM單元尺寸與臺積電的N5節(jié)點(diǎn)相同,因此對于那些追求密度/面積增益的客戶來說,它的吸引力較小??傮w而言,N3E承諾提供更寬的工藝窗口和更好的良率,這是芯片制造中的兩個(gè)關(guān)鍵指標(biāo)。

“N3E在良率,工藝復(fù)雜性方面將優(yōu)于N3,這直接轉(zhuǎn)化為更寬的工藝窗口,”臺積電業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁Kevin Zhang說。

N3P:更高的性能,更高的晶體管密度

在 N3E 之后,臺積電將繼續(xù)使用 N3P 優(yōu)化 N3 系列的晶體管密度,N3P 將通過提供改進(jìn)的晶體管特性建立在 N3E 的基礎(chǔ)上。改進(jìn)的工藝節(jié)點(diǎn)將使芯片設(shè)計(jì)人員能夠在相同的泄漏下將性能提高 5%,或者在相同的時(shí)鐘下將功耗降低 5% ~ 10%。新節(jié)點(diǎn)還將為“混合”芯片設(shè)計(jì)增加 4% 的晶體管密度,臺積電將其定義為由 50% 邏輯、30% SRAM 和 20% 模擬電路組成的芯片。

作為N3P討論的一部分,臺積電強(qiáng)調(diào),密度改進(jìn)是通過調(diào)整其掃描儀的光學(xué)性能來實(shí)現(xiàn)的。因此,臺積電很可能能夠縮小所有類型的芯片結(jié)構(gòu),這將使N3P成為SRAM密集型設(shè)計(jì)的有吸引力的節(jié)點(diǎn)。

“N3P是一種性能提升,它的性能提高了5%,至少比N5E高3%,”張解釋說。它還具有2%的光學(xué)收縮,使晶體管密度達(dá)到1.04倍。

由于N3P是N3E的光學(xué)收縮,它將保留N3E的設(shè)計(jì)規(guī)則,使芯片設(shè)計(jì)人員能夠在新節(jié)點(diǎn)上快速復(fù)用N3E IP。因此,N3P也有望成為臺積電最受歡迎的N3節(jié)點(diǎn)之一,預(yù)計(jì)Cadence和Synopsys等IP設(shè)計(jì)公司將為該工藝技術(shù)提供各種IP,從而在此過程中獲得與現(xiàn)有N3E向前兼容的好處。臺積電表示,N3P將于2024年下半年投入生產(chǎn)。

N3X:最高性能和密度

最后,對于CPU和GPU等高性能計(jì)算應(yīng)用的開發(fā)人員,臺積電在過去幾代中一直提供其X系列高壓,以性能為中心的節(jié)點(diǎn)。正如在去年的活動(dòng)中披露的那樣,N3系列將獲得自己的X變體,其名稱恰如其分地命名為N3X節(jié)點(diǎn)。

與N3E相比,N3X預(yù)計(jì)將提供至少5%的時(shí)鐘速度比N3P高。這是通過使節(jié)點(diǎn)更能耐受更高電壓來實(shí)現(xiàn)的,允許芯片設(shè)計(jì)人員提高時(shí)鐘速度以換取更高的整體泄漏。



臺積電聲稱N3X將支持(至少)1.2v的電壓,這對于3nm級制造工藝來說是一個(gè)相當(dāng)極端的電壓。反過來,泄漏成本是巨大的,臺積電預(yù)計(jì),在更平衡的N250P節(jié)點(diǎn)上,漏電將增加3%。這強(qiáng)調(diào)了為什么N3X實(shí)際上僅適用于HPC級處理器,并且芯片設(shè)計(jì)人員需要格外小心以控制其最強(qiáng)大(和耗電)的芯片。

至于晶體管密度,N3X將提供與N3P相同的密度。臺積電尚未評論它是否還將保持與N3P和N3E的設(shè)計(jì)規(guī)則兼容性。

臺積電當(dāng)前路線圖中的最后一個(gè)N3系列節(jié)點(diǎn),該公司表示N3X將在2025年投入生產(chǎn)。

在會上,臺積電還披露了TSMC 3DFabric先進(jìn)封裝和硅堆疊——TSMC 3DFabric 系統(tǒng)集成技術(shù)的主要新發(fā)展,當(dāng)中包括:

  • 先進(jìn)封裝——為了支持 HPC 應(yīng)用在單個(gè)封裝中容納更多處理器和內(nèi)存的需求,臺積電正在開發(fā)基板上晶圓上芯片 (CoWoS) 解決方案,其光罩尺寸高達(dá) 6 倍(~5,000mm2 )RDL 中介層,能夠容納 12 個(gè) HBM 內(nèi)存堆棧。
  • 3D 芯片堆疊——臺積電宣布推出 SoIC-P,這是其集成芯片系統(tǒng) (SoIC) 解決方案的微凸塊版本,為 3D 芯片堆疊提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的方式。SoIC-P 補(bǔ)充了 TSMC 現(xiàn)有的用于高性能計(jì)算 (HPC) 應(yīng)用的無擾動(dòng)解決方案,這些解決方案現(xiàn)在稱為 SoIC-X。
  • 設(shè)計(jì)支持——TSMC 推出了 3Dblox? 1.5,這是其開放標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)語言的最新版本,旨在降低 3D IC 設(shè)計(jì)的門檻。3Dblox? 1.5 添加了自動(dòng)凸點(diǎn)合成,幫助設(shè)計(jì)人員處理具有數(shù)千個(gè)凸點(diǎn)的大型芯片的復(fù)雜性,并有可能將設(shè)計(jì)時(shí)間縮短數(shù)月。

以及使用 N4PRF 突破 CMOS 射頻技術(shù)的極限——除了 2021 年宣布的 N6RF 技術(shù),臺積電還在開發(fā) N4PRF,這是業(yè)界最先進(jìn)的 CMOS 射頻技術(shù),適用于 WiFi 7 射頻片上系統(tǒng)等數(shù)字密集型射頻應(yīng)用。與 N6RF 相比,N4PRF 在相同速度下支持高 1.77 倍的邏輯密度和低 45% 的邏輯功耗。

臺積電還表示,今年將發(fā)布新軟件,以幫助開發(fā)先進(jìn)汽車計(jì)算機(jī)芯片的客戶更快地利用其最新技術(shù)。

臺積電是全球最大的半導(dǎo)體合約制造商。恩智浦半導(dǎo)體和意法半導(dǎo)體等許多汽車行業(yè)最大的芯片供應(yīng)商都選擇臺積電制造芯片。但與消費(fèi)電子產(chǎn)品中的芯片相比,汽車芯片必須滿足更高的堅(jiān)固性和壽命標(biāo)準(zhǔn)。臺積電擁有用于汽車行業(yè)的特殊制造工藝,通常比消費(fèi)類芯片的類似工藝晚幾年。

過去,汽車芯片公司需要額外的時(shí)間來為那些專門的生產(chǎn)線創(chuàng)建芯片設(shè)計(jì)。結(jié)果是汽車芯片可能比最新智能手機(jī)中的芯片落后數(shù)年。在技術(shù)大會上,臺積電推出了新軟件,使汽車芯片設(shè)計(jì)人員能夠提前兩年左右開始設(shè)計(jì)工作。這將使這些公司能夠使用臺積電 N3 芯片制造技術(shù)的汽車版本——這是消費(fèi)設(shè)備的當(dāng)前技術(shù)水平——一旦臺積電在 2025 年推出汽車級版本。

“從歷史上看,汽車一直遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于消費(fèi)者,”臺積電業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁 Kevin Zhang 在新聞發(fā)布會上表示?!澳鞘沁^去。這使我們的汽車客戶能夠更早地開始他們的設(shè)計(jì)——事實(shí)上,比之前早了兩年?!?/span>

Zhang 說,在新冠疫情和隨之而來的汽車半導(dǎo)體短缺之前,汽車制造商通常將重要的芯片技術(shù)決策留給供應(yīng)商。但現(xiàn)在,這些供應(yīng)商和汽車制造商經(jīng)常與臺積電直接討論?!八麄兂浞忠庾R到他們需要直接接觸硅技術(shù)選擇,” Zhang 說。“在過去的幾年里,我親自會見了許多主要的汽車業(yè)首席執(zhí)行官...我們在前期與他們密切合作?!?/span>

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